タフコンダクター

“ダイヤモンドに次ぐ硬さ”と“金属並みの導電性”を両立した新規硬質カーボンコーディング

半導体及び電子部品向け計測プローブに新革命!!

新開発 タフコンダクター

タフカーボンの高硬度をほぼ維持し、導電性を兼ね備えた新規硬質カーボンコーティング。
導電性、磨耗、汚れ、耐熱性にお困りのお客様に必見です。

タフコンダクターの特徴


図:タフコンダクターの業界における位置づけ
タフコンダクターは、これまでに無い導電性と硬さを兼ね備えています!

【1】硬度 導電性DLC業界では初のHV4000 超高硬度

  さまざまな材料と比較 既存の導電性DLCと比較
硬さのグラフ
特徴 タフコンダクターは、通常のタフカーボンと比べて
硬さが若干低下するが、既存のDLC膜と比べて2
倍の硬さを有する
タフコンダクターは、既存の導電性DLC膜と比
べて約4倍の硬さを有する

【2】金属並みの導電性

体積抵抗率 〜5×10-3Ω・cmの低抵抗率〜

■タフコンダクター体積抵抗率

5×10-3 Ω・cm
・測定方法;四深針法にて測定(JIS K 7194準拠)
・測定機器;三菱化学ローレスターGP, MCP-T600
参考;従来タフカーボン体積抵抗 > 1×1010 Ω・cm

【3】非汚れ性 はんだ、アルミ等による表面汚染の軽減

計測用プローブの場合、従来の金めっきと比べて飛躍的に表面の汚れが軽減 出来ます。
表面が汚れないために、導電性が安定しています。
炭素自身の持つ低表面エネルギーの効果を利用しています。

【4】高い耐熱性

250℃までの温度においてタフコンダクターの硬さは変化しない。

  • ■加熱試験条件
  • 【温度】150〜250℃
  • 【時間】2時間
  • 【雰囲気】大気
  • (250℃以上は評価中)

【5】専門分野における高い評価

IEEE半導体ウエハーテスト学会2011

タフカーボン

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